多晶硅论文

LPCVD系统沉积多晶硅薄膜的雾化分析

一、LPCVD系统淀积多晶硅薄膜的发雾分析（论文文献综述）门小云[1]（2016）在《LPCVD法制备多晶硅薄膜工艺的研究》文中研究表明随着器件特征尺寸的不断减小以及衬底尺寸的...